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MOQ: | 1 |
Preis: | $1000-$150000 |
Verpackungsdaten: | aus Holz |
Lieferzeit: | 5 bis 60 Tage |
Zahlungsbedingungen: | L/C, T/T, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union |
SS101Wafer-Niveau Ausgabe Maschine
Für Waferform Unterfüllung
SS101 ist ein hochstabiles und präzises Wafer-Level-Disponierungssystem, das auf der Grundlage der Anforderungen des Under-Fill-Prozesses von RDL First WLP entwickelt wurde.
Die Ausrüstung erfüllt die Bedürfnisse der Halbleiterindustrie, kann mit einem automatischen Wafer-Ladungs- und -Entladungssystem ausgestattet werden und kann automatisch Funktionen wie Wafer-Handling realisieren,Ausrichtung Es ist kompatibel mit internationalen Halbleiterkommunikationsprotokollen,und ist mit einer automatischen Lade- und Entlade-Roboter-Schnittstelle AMHS ausgestattet, die dem
Anforderungen an das Informationsmanagement und Trends im unbemannten Management.
SS101 Systemlayout
¢ Loadport & Foup
Ausrichtungssysteme
¢ QR-Code-Scanstation
Vorwärmstation
¢Wärmeablassstation
Arbeitsplatz der Verteilermaschine GS600SWB
Modul für die Handhabung von Robotern
Technische Spezifikation
System SS101 | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Waferbehandler * 1 (EFEM) | |
Anwendungsbereiche | RDL Erste WLP, CUFAnwendung | |
Reinheitsgrad | Sauberkeit des Arbeitsbereichs |
Klasse 100 (Werkstatt der Klasse 1000) Klasse 10 (Werkstatt der Klasse 100) |
Anwendungsbereiche des Produkts |
Unterstützung der Wafergröße |
Einheitliche Prüfungen (Standardmodell unterstützt nur 12-Zoll-Wafer) |
Unterstützung für die Waferdicke | 300-2550 μm | |
Zulässiger Wafer max. Warpage-Bereich | < 5 mm (je nach Typ des Roboterfingers) | |
Höchstzulässiges Wafergewicht | 600 g (je nach Typ des Roboterfingers) | |
Wafer-Kassettenform | 8 Zoll Offene Kassette, 12 Zoll Foup (Standardmodell unterstützt nur 12-Zoll-Wafer) | |
PC101 (EFEM) |
Beförderungs- und Entlademethode | Einheitliche Datenbank für die Bereitstellung von Daten |
Präzision des Vorausrichters | Runde Abweichung zur Korrektur der Mitte≤±0,1 mm; Abweichung zur Korrektur des Winkels≤±0,2 ° | |
Waferleser | Unterstützt SEMI-Schriftarten (Flach oder konkave/konvexe Oberflächen), nicht-SEMI-Schriftarten | |
Vorwärmtemperaturbereich | Raumtemperatur ~ 180°C | |
Waferkühlmethode | Natürliche Kühlung oder Luftkühlung | |
Bewegungssystem |
Übertragungsmechanismen | X/Y: Linearmotor Z: Servomotor und Schraubmodul |
Wiederholbarkeit | X/Y: ±3 μmZ: ±5 μm | |
Positionsgenauigkeit | X/Y: ± 10 μm | |
Max. Bewegungsgeschwindigkeit | X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s | |
Max. beschleunigte Geschwindigkeit | X/Y: 1 g Z: 0,5 g | |
Sehsystem |
Kamerapixel | 130 W |
Genauigkeit der Erkennung | ± 1 Pixel | |
Erkennungsbereich | 12 × 16 mm |
|
Lichtquelle | Kombinierte dreifarbige Lichtquelle Rot, Grün, Weiß + Rot | |
System zur Kalibrierung von Gewichten | Gewichtungsgenauigkeit | 00,01 mg |
Tischladestelle |
Abweichung der Flachheit der Vakuumoberfläche | ≤ 3 0 um |
Heiztemperaturbereich | Raumtemperatur ~ 180°C | |
Abweichung der Heiztemperatur | ≤ ± 1,5 °C | |
Wiederholbarkeit der Hebhöhe | ± 10 μm | |
Vakuumsaugdruck | -70 ~ 85 Kpa Einstellbar | |
Einrichtungen |
Ausnahme für die Berechnung der Kosten für die Erstellung von Daten | 3075×2200×2200mm ((Anzeige ausgebreitet) |
Gewicht | 2.9t | |
Stromversorgung | 200~240VAC,47~63HZ (Einphasen-Anpassungspannungsversorgung) | |
Strom | 75A | |
Macht | 16.5 kW | |
Inhalieren | (0,5 MPa, 450 L/min) ×5 Weg | |
Betriebstemperatur der Umgebung. | 23°C ± 3°C | |
Relative Luftfeuchtigkeit der Arbeitsumgebung | 30 ~ 70% |